熱式質量流量計是基于熱擴散原理而設計的一款可直接測量氣體質量流量的儀表。通過測量氣體流經流量計內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件，其中一個作為溫度檢測，另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量，即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。
儀器測得的質量流量等同于標準狀態下的體積流量，其質量流量單位表示為SCCM (每分鐘標準毫升) 或SLM (每分鐘標準升)。標準狀態指壓力為一個大氣壓(101325Pa)、溫度為0℃。 產品出廠時一般用氮氣標定。用戶使用其它氣體時，可以用說明書中提供的氣體轉換系數進行讀數修正，或提出根據使用氣體進行轉換標定，如果可行的話，也可以要求我公司以實際使用的氣體進行標定。
應用領域：
1、氧氣、氮氣、氫氣、氯氣及多組分氣體測量。（乙炔氣體除外）。
2、高爐煤氣、焦爐煤氣測量。
3、煙道氣測量。
4、沼氣、水處理中的曝氣和氯氣測量。
5、壓縮空氣測量。
6、天然氣、液化氣、火炬氣等氣體流量測量。
7、電廠高爐的一次風、二次風流量測量。
8、礦井下通風或排風系統流量測量。
熱式質量流量計應用廣泛，準確度高，其價格也高，這就要求對其精心維護，如給其配備高質量的穩壓電源，對現場的振動及使用條件進行經常檢查等，以保證準確度及儀表的安全。儀表使用過程中在使用條件下有必要進行準確的零點標定，儀器屬于在線使用的高準確度測量儀表，零點的漂移對測量結果有影響，長期使用時一定要定期進行標定。要避免超過使用儀表范圍的情況發生，這會引起儀表測量準確度的下降，嚴重時會導致儀表損壞。例如由于超過儀表使用溫度范圍的蒸汽掃線等操作，將會使檢測線圈損壞而使儀表無法再使用。平時在使用熱式質量流量計的時候，應防止人為斷電和拆線。采取斷電和拆信號線的辦法使流量計短時間不計量，從而造成計量糾紛，此類問題應引起注意。解決辦法是有儀表箱的上鎖，專人負責管理。
