Hammer質量流量計是根據(jù)科里奧利力原理開發(fā)的一種新型的流量測量儀表，可直接測量封閉管道內流體的質量流量和介質的密度。流量計由流量測量傳感器和信號轉換器兩部分組成。
Hammer質量流量計是一種熱導式的儀表，目前許多國家都有這類流星計的工業(yè)產品，雖然具體結構各有差異，但其工作原理是基本一致的。
這種氣體質量流量計的基本原理是在一根直徑很小(4毫米)的薄壁金屬管(常用不繡鋼、純鎳或蒙乃爾臺金等耐蝕合金)的外壁，對稱繞上四組電阻絲，相互聯(lián)接組成惠斯頓電橋。
就理想氣體而言，氣體的比熱是不隨壓力而變化的常值，所以輸出訊號僅與氣體的質量流量成正。一般的真實氣體其比熱受壓力影響的變動幅度很小故仍可用輸出訊號直接代表質量流量。認為與壓力的大小無關。在實用中，因難于計量氣體的質量來標定儀表，故常以換算成標準狀態(tài)下(760毫米汞柱、0℃或760毫米汞柱、20℃)的氣體體積(用“標升”或標立米”表示)來標稱氣體的質量。
與恒溫差式流量計的結構類似，在測量管路中同樣加入兩個金屬鉑電阻，一個為用于測量被測流體溫度的測溫電阻，另一個為用于測量被測流體速度的測速電阻。鉑電阻連接在惠斯通電橋中，鉑電阻的溫度不同使鉑電阻的電阻呈現(xiàn)不同阻值，從而使電橋不平衡，通過檢測電橋的電壓差來反應流體流量。
測量出現(xiàn)誤差，檢查方法：
1、質量流量控制器前端壓力是否發(fā)到標定壓力，如果質量流量控制器的壓力不夠就會出現(xiàn)達不到標定量程；
2、零點是否有漂移，首先需接通電源，質量流量控制器信號為0的情況下，則需要用萬網表測一下輸出信號值以及看一下電源控制器的反饋信號；
3、氣體是否純凈，如果盤路有污染，那么流量就肯定會收到影響，這個時候可以用高純N2多次清掃。
